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基板的吸引保持方法及使用該方法的吸引保持輸送機

申請號/專利號： 02824681
吸引保持輸送機，利用吸引并保持載置于工作臺上的基板（１）的吸引固定部件（６９），對載置于工作臺（８４）上的基板（１）進行吸引、固定。支持部件（６１），用于支持該吸引固定部件。該吸引保持輸送機具有距離調節機構（８２），可在吸引固定部件（６９）上的多個部位單獨地調節從上述工作臺表面至吸引固定部件的距離。
申請日： 2002年12月11日
公開日： 2005年03月30日
授權公告日： 2007年09月05日
申請人/專利權人： 三星鉆石工業股份有限公司
申請人地址： 日本大阪府
發明設計人： 船田秀明;吉村浩昭
專利代理機構： 中國專利代理(香港)有限公司
代理人： 廖凌玲 楊松齡
專利類型： 發明專利
分類號：
B25J15/06;H01L21/677
標簽：輸送機    基板的吸引保持方法及使用該方法的吸引保持輸送機
 · 包散兩用輸送機 (實用新型專利  B65G15/00;B65G21/20;B65G41/00;B65G47/18  2010年02月03日)
 · 氣流輸送機 (發明專利  B65G51/03  )
 · 輸送機 (實用新型專利  B65G17/00;B65G43/00  2010年05月19日)
 · 多級可調自走式輸送機 (實用新型專利  B65G41/00;B65G15/22  2009年05月27日)
 · 一種雙鏈輸送機 (實用新型專利  B65G17/12;B65G17/30;B65G17/38;B65G41/00;B05B13/02;B05C13/00  2010年06月16日)
 · 正反轉輸送機 (實用新型專利  B65G23/08;B65G15/00;B65G23/44;B65G39/10;B65G41/00;B65G15/26  2010年11月24日)
 · 全折疊式爬坡輸送機 (實用新型專利  B65G15/22;B65G41/00;B65G15/30;B65G21/00  2010年11月24日)

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