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基板輸送機(jī)

申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào): 200780045654
本發(fā)明涉及一種基板輸送機(jī),具備:移動(dòng)工作臺(tái)(32),其在水平方向可移動(dòng)地配置在基座(14)上,且在一側(cè)交接基板(G)時(shí)位于一側(cè);支承裝置(S),其配置在移動(dòng)工作臺(tái)(32)上,且具有用于在水平方向可移動(dòng)地支承基板(G)的支承區(qū)域;移動(dòng)裝置(T),其用于在一側(cè)交接基板(G),并橫穿一側(cè)的支承區(qū)域的前端而使支承區(qū)域上的基板(G)在水平方向上移動(dòng);立設(shè)在基座(14)上的支柱(16);手部(H),其在相反側(cè)交接基板(G),且在與支承裝置(S)之間交接輸送過程的基板(G),在水平方向可移動(dòng)并從上下方向看橫穿支承區(qū)域且可升降地安裝于支柱(16)上,支承區(qū)域在一側(cè)具有從移動(dòng)工作臺(tái)(32)露出的延出部。
申請(qǐng)日: 2007年12月20日
公開日: 2009年10月14日
授權(quán)公告日:
申請(qǐng)人/專利權(quán)人: 株式會(huì)社IHI
申請(qǐng)人地址: 日本東京都
發(fā)明設(shè)計(jì)人: 平田賢輔
專利代理機(jī)構(gòu): 北京市柳沈律師事務(wù)所
代理人: 陶鳳波
專利類型: 發(fā)明專利
分類號(hào):
B65G49/06;B65G49/00;G02F1/13;H01L21/677
標(biāo)簽:輸送機(jī)    基板輸送機(jī)
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